ИССЛЕДОВАНИЕ ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ГРАФИТА
Main Article Content
Abstract
В статье рассмотрены концептуальные требования к методы напыления широко используются в современной микроэлектронике. Высочайшая скорость осаждения и атомная энергия, падающая на подложку во время осаждения, выделяют вероятность использовать эти методы для получения пленок, имеющих любые составы и структуры, что больше для низкотемпературной эпитаксии.
Article Details
How to Cite
Бафоев Бахром Ботирович. (2022). ИССЛЕДОВАНИЕ ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ГРАФИТА. Uzbek Scholar Journal, 9, 22–25. Retrieved from https://uzbekscholar.com/index.php/uzs/article/view/252
Issue
Section
Articles
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.